MTCS2601 厳しい環境におけるプライマリ圧力制御に適した熱伝導性ガスセンサー

MTCS2601 厳しい環境におけるプライマリ圧力制御に適した熱伝導性ガスセンサー

原則:

MTCS2601ガスセンサーは,化学反応のない物理原理であるピラニ原理に基づいています.それはガス熱伝導性の変化に基づいて動作します.装置の冷たい部分への隔熱介電膜の加熱抵抗から熱流は,ガス伝導性に依存します室温で加熱部分と装置の"冷たい"部分の信号を測定することで,ガス濃度を得ることができる.

特徴:

• 初期真空測定用の熱伝導性センサーです
• SMDセラミックパッケージに収納され,テープとリールパッケージで提供できます.
• 大きさは小さいので,非常に小さな体積での測定に適しており,センサーガスの体積は<0.1cm3など非常に小さい.
• 低電力消費,動作電力消費 < 6 mW
• 短時間定数と超高速応答時間 < 50 ms
• 10−2〜102 mbarの範囲で最適な感度があり,範囲は10−4〜1 atmまで拡張することができます.
• 測定範囲は10−4から1000 mbarで,再現性が優れている.
• 同じシリコン・ダイの 補償と熱電阻は よく一致しています
• 物理抵抗感知原理に基づいて,安定した長 MTBF (>3万時間) を有します.
• シンプルな常温過剰操作回路に対応します
• 腐食性の高いガス環境では,要求に応じて金接触版が提供されています.

適用:

• ピラニ原理に基づく小型真空計は 超低電力消費,長期間の動作を必要とするメンテナンスもなし.
• 厳しい環境でのプライマリ圧力制御に適し,また,ガス漏れ,湿度,または閉ざされたボリュームシステムへの侵入を検出します.圧力バルブや真空管やシステムに直接インストールすることができます小型の機械式ポンプシステム,真空ポンプ,分析装置など.また,特定の圧力下で閉ざされたシステムまたは機器の完整性を監視するために漏れ検出に使用することができます腐食や開箱などの欠陥を検出できます