AGP4000 MEMS 高精度デジタル表示冷陰極複合真空計ピラニ真空計

                    AGP4000 MEMS高精度数字显示冷阴极复合真空计皮拉尼真空计

用途:

• 半导体制造：用于半导体涂布等半导体制造过程中真空环境的精确监测。精确的真空度控制对于半导体产品的质量和性能至关重要，AGP4000可提供可靠的真空数据，确保工艺的稳定性。
• 航空航天领域：在航空航天零部件测试等场景下，需要模拟不同的真空环境来测试零部件的性能。AGP4000可实现从低真空到高真空的全量程监测，为航空航天研发和测试提供重要数据支持。
• 精密科学研究：在精密科学研究中，例如一些需要高精度真空环境控制的物理化学实验，AGP4000可帮助研究人员精确获取真空度信息，确保实验结果的准确性和可重复性。
• 真空炉应用：对于真空炉，在不同的工艺阶段需要不同的真空度。AGP4000可实时监测炉内真空度，并配合控制系统调整真空度，从而保证材料的热处理质量和炉子的使用寿命。

特点:

• 宽量程高精度测量：可实现从低真空到高真空（1×10⁻⁶Pa ~ 1×10⁵Pa）的全量程精确监测，覆盖6个数量级的宽范围，重复性误差≤±5%，长期稳定性优异，为关键工艺提供可靠数据基础。
• 双技术智能协同：皮拉尼系统贯穿全程工作，当真空度低于10 Pa时，冷阴极系统自动启动，无需人工干预，彻底解决了传统设备量程限制的痛点。坚固耐用：冷阴极设计无需加热灯丝，抗污染能力强，大大延长使用寿命，降低维护成本。
• 真彩可视化：配备高清TFT-LCD彩屏，可实时动态显示压力值，并支持一键切换三种单位（Pa/Torr/mbar），同时显示温度、通信状态及高压通断标识（红/蓝双色预警），数据一目了然。
• 双模输出：具备0~10V线性模拟信号，可直接连接PLC、记录仪等工业设备，支持对数转换公式，方便适配系统。同时支持标准Modbus RTU协议，通过RJ45接口实现RS485通信，支持多设备组网，兼容主流工控系统，助力构建智能化真空监测网络。
• 安装简便运行可靠：标配KF25不锈钢电抛光法兰，气密性优异，支持任意方向安装（推荐垂直安装）。宽电压供电（15~30V DC），功耗≤6W，可适应严苛的工业环境。
• 智能校准操作便捷：具备三级菜单式界面设计，支持中英文切换，可现场设置通信参数和单位，进行0.1Pa/大气压校准，甚至一键恢复出厂设置，大大降低了操作和维护门槛。
• 重复性误差