YJJ AGP4000H00 MEMS 高精度デジタル冷陰極複合真空計ピラニ真空計

製品説明：

YJJ AGP4000H00 MEMS 高精度デジタル冷陰極複合真空計ピラニ真空計

特徴：

I. 製品紹介

型式：AGP4000H00、フルレンジ複合真空計、一体型ピラニ熱伝導率計（大気圧～中真空測定）＋冷陰極電離真空計（高真空測定）

自動デュアルモード切り替え。2 つの独立した真空計とペアリングする必要はありません。一体型ステンレススチール真空測定プローブ、ローカル TFT カラースクリーンディスプレイを装備。 PLC、タッチスクリーン、産業用制御ホストへのアナログ/デジタル信号接続もサポートします。

特徴: Prophiles AGP4000 タッチスクリーンは、この真空計モデルに似ていますが、完全に異なる製品です。ハードウェアの購入と接続を混同しないでください。

II.コアパフォーマンスパラメータ

1. 真空測定範囲（デュアルゲージコンポジット）

合計測定範囲: 5×10⁻⁶ Pa ～ 1×10⁵ Pa (プロセス全体にわたる粗排気、中真空、高真空をカバーする6桁の範囲)

ピラニ動作範囲：1×10⁵Pa～10Pa（プロセス中常時オン、大気圧から中真空まで監視）

冷陰極自動起動しきい値: <10 Pa、この真空レベル以下の高真空ではイオン化測定を自動的に開始し、手動切り替えは不要

測定単位: Pa / mbar / Torr、3つの単位を同時に切り替え可能、中国語と英語のインターフェース付き

2. 精度と安定性

再現性誤差: ≤±5% 読み取り値

測定精度: フルスケール読み取り値の ±30%

応答速度: ピラニミリ秒レベルの応答。冷陰極による高電圧での迅速かつ安定した起動

耐汚染特性: 冷陰極には加熱されたタングステン フィラメントがなく、油蒸気やコーティング粉塵によって燃焼せず、熱陰極電離真空計よりもはるかに長い寿命があります。

3. 電源仕様

電源電圧：DC15～30VワイドレンジDC

全体の消費電力: ≤6W

通信/電源統合インターフェース: RJ45統合電源 + RS485

デジタル通信: Modbus RTU、ボーレート 4800/9600/19200/115200 調整可能、マルチデバイス ネットワーキングをサポート (アドレス 1 ～ 255)

アナログ出力: 0~10Vの対数電圧出力、レコーダー、PLCアナログモジュールに直接接続可能

スイッチング数量: プログラム可能なアラームリレー 2 個、ポンプ、バルブ、アラームライトをリンクするために高/低真空しきい値を設定可能

4. 機械、環境、材料

真空フランジ：標準のKF25クイックリリースフランジ、優れた気密性、あらゆる角度の取り付けをサポート

キャビティコンタクト材質: 電解研磨された 304/316 ステンレス鋼、オイルフリー真空、マイルドオイル潤滑真空システムに最適

使用温度範囲：5℃～55℃

保存温度範囲：-20℃～70℃

保護: 機械全体の金属シーリング、ほこりや軽度の油汚染に対する耐性のあるプローブ

画面：マイクロTFTカラーディスプレイ、真空値、内部温度、通信ステータスのリアルタイム表示、高真空/低真空の2色警告灯

Ⅲ．動作原理

ピラニゲージ（熱伝導原理）

内部 MEMS 加熱抵抗線、ガス分子が熱を吸収し、圧力が高くなるほど熱放散が速くなり、抵抗温度が低くなります。回路は抵抗変化を収集し、大気を 10Pa の真空レベルに変換し、プロセス全体を通じて継続的に動作します。

冷陰極電離計（パンニング放電）

真空度が 10Pa 以下になると、自動的に高電圧が負荷され、ガスのイオン化によりイオン電流が生成されます。真空度が高くなるほどイオン電流は小さくなり、10Pa〜10-6Paの高真空範囲を測定します。

内蔵 MCU が圧力レンジを自動的に決定し、2 つの測定モードをシームレスに切り替え、真空値を均一に出力します。バックエンド機器でレンジロジックの切り替えを行う必要はありません。

IV.主な利点

単一のゲージが真空範囲全体をカバーし、従来の「ピラニ ゲージ + イオン化ゲージ」デュアル プローブ ソリューションを置き換え、装置コストと設置スペースを削減します。フィラメントのない冷陰極は、大気への影響やコーティング汚染の心配がなく、メンテナンスがほとんど必要なく、24 時間連続の工業生産に適しています。

ローカル カラー スクリーンが付属しており、上部コンピュータを使用せずに真空値を現場で読み取ることができるため、デバッグとメンテナンスが便利です。

また、0 ～ 10V アナログ + Modbus デジタル デュアル出力も備えており、Proflex タッチ スクリーン、さまざまな PLC、産業用制御取得システムと互換性があります。

幅広い電圧DC15〜30V、DC電源用の機器キャビネットと互換性があり、産業現場での強力な互換性。

KF25 ユニバーサル標準フランジは、分子ポンプ、機械ポンプ、真空チャンバーの標準パイプラインに直接適合します。

VII.主なアプリケーションシナリオ

1. 半導体・真空成膜装置（コア用途）

マグネトロンスパッタリング、蒸着装置、光学コーティング、ITO導電膜装置

ウェーハパッケージング、プラズマクリーニング、エッチング装置、粗排気→高真空プロセスカーブの全プロセスをモニタリング

真空キャビティのリーク検出、ヘリウムリーク検出装置と組み合わせてリークポイントを特定

2. 研究実験設備

細胞嫌気培養器、真空乾燥庫、ホットプレス焼結炉

気象シミュレーションチャンバー、気密試験台、材料真空老化試験装置

高真空実験室の研究、イオン源真空モニタリング

3. リチウム電池、新エネルギー製造装置

リチウム電池真空ベーキング、射出真空チャンバー、セル気密漏れ検査ステーション

電解液脱泡用蒸着装置、電極真空塗布装置

4. 航空宇宙、精密検査産業

航空宇宙部品高温・低温真空試験室、宇宙船宇宙環境シミュレーション装置

精密機器、センサー真空校正ステーション

5.医療支援真空装置

医療用陰圧チャンバー、無菌真空滅菌装置、生体試料凍結乾燥機

伴奏呼吸器、真空圧連動制御 (ExplorIR-M-5 CO₂ センサー連動と組み合わせ可能)

6. 一般産業用真空オートメーション

真空負圧吸着装置、真空包装機、真空ポンプ群連動制御、メカニカルポンプの真空オーバーリミット自動起動停止、分子ポンプ、アイソレーションバルブ。

VI.インターフェイス ソリューションのサポート (既存の材料との互換性)

上部ディスプレイ: AGP4000 Proflex タッチ スクリーン、Modbus RJ45 経由で真空値を読み取り、曲線、アラーム、および自動プロセス ロジックを実行します。

ガス連携: ExplorIR-M-5 CO₂ センサー、ZP152 臭気センサーと組み合わせて、チャンバー内の真空 + ガス濃度の統合監視を実現します。

医療用完全マシン: DS100A 血中酸素プローブ監視ホストと組み合わせて、医療用真空 + ライフサイン統合機器に使用されます。

仕様: