YJJ C06689-B2CXL クラス B-2CXL 超低濃度酸素センサー 0-1ppm O2 半導体ウェーファー製造

製品説明：

YJJ C06689-B2CXL クラス B-2CXL 0-1ppm O2 半導体ウェーハ製造用超低濃度酸素センサー

特徴：

I. 製品基本情報

ブランド: Teledyne Analytical Instruments (米国)

元の部品番号: C06689-B2CXL、内部モデル: CLASS B-2CXL

動作原理: 密閉型使い捨てマイクロ燃料電池 (電気化学酸素電池)、内部 15% KOH 電解質、二重電極構造、酸化還元出力線形電流信号による酸素生成

コアポジショニングの違い

B-2C (C06689-B2C): 範囲 0 ～ 10ppm 微量酸素、CO₂ 高純度ガス検出なしのユニバーサル

B-2CXL: XL 超範囲最適化モデル、最小範囲 0 ～ 1ppm、特に超高純度不活性ガスの ppb レベルの残留酸素モニタリング用、Teledyne INSTATRACE XL シリーズ微量酸素分析装置と互換性あり

共通点: CO₂ 含有ガスでの長期使用は固く禁止されています。CO₂ はゼロドリフトや測定障害の原因となります。二酸化炭素を含まない不活性/炭素水素プロセスガスにのみ適しています

II.主要な技術仕様

1. 測定範囲

標準測定範囲：0～1ppm O₂（超低域、ppbレベルの高精度）

検出下限値：ppbレベルの残留酸素を安定検出、半導体、太陽光発電用超高純度ガスの厳密な純度管理に最適

B2C の比較: B2C 範囲は 0 ～ 10ppm、B2CXL は範囲を 10 分の 1 に短縮し、分解能が向上し、極度の低酸素条件に適しています。

2. 環境特性および電気的特性

動作温度：0℃～+50℃

湿度条件：0～99%RH、結露なきこと、オイルミストなきこと

圧力：常圧±10％、高圧衝撃、負圧急変がないこと

出力特性: リニア電流出力、Teledyne INSTATRACE XL、3110XL シリーズ トレース酸素分析計に専用マッチング、専用ソケット接続、ピンに直接はんだ付け不可

T90 応答時間: 35 ～ 40 秒、トレース酸素信号のドリフトが最小限に抑えられ、長期オンライン監視が安定しています。

精度: フルスケール誤差 <±2%、年間信号減衰 <5%

3. 寿命と保証

工場出荷時の保証: 6 か月

通常の耐用年数: 高純度窒素 / アルゴン / ヘリウムガス条件で 9 ～ 12 ヶ月。空気との頻繁な接触、高酸素環境では寿命が大幅に短くなります

保管条件: 工場で密封された元のアルミ箔袋、遮光、室温で保管、未開封の保管有効期間 6 か月。開封後は電解液が腐敗し続けるため、できるだけ早く機械に使用する必要があります。

構造: 1 回限りの密閉パッケージ、メンテナンスフリー、電解液の減少は再生不可、直接全体交換

Ⅲ．製品の主な機能

XL アナライザー独自の最適化: Teledyne INSTATRACE XL シリーズ微量酸素分析装置用に特別に校正されており、0 ～ 1ppm の超低範囲、標準 B2C モデルをはるかに上回る分解能を備えています。

CO₂ フリーの作業条件に特化: CO₂ フリー環境でゼロ点が安定し、ドリフトがなく、不活性高純度ガス中の微量酸素検出用の通常のセンサーの歪みの問題を解決します。

ppb レベルの超高精度: 極微量の残留酸素を捕捉でき、半導体、リチウム電池、太陽光発電産業における超高純度ガスの品質管理基準を満たしています。

オリジナルのアメリカ輸入品、標準化されたソケットインターフェイス、現場での迅速な交換、複雑な校正は不要です。

密閉型メンテナンスフリー構造のため、水の補充や定期的な再液化が不要で、運転・保守コストを削減します。

IV.業界のアプリケーションシナリオ (主要な用途)

1. 半導体ウェーハ製造（コアアプリケーション）

高純度窒素、アルゴン、ヘリウムキャリアガス/パージガスをppbレベルで追跡酸素オンラインモニタリング。ウェーハ拡散、エッチング、パッケージング、成膜炉の不活性保護ガスの残留酸素を監視して、チップの酸化を防止し、

エレクトロニクス用特殊希ガス（ネオン、クリプトン、キセノン）の製造および充填純度検出。

2. リチウム電池・太陽光新エネルギー産業

リチウム電池の充填、真空ベーキング、形成ワークショップの窒素保護キャビン超低残留酸素リアルタイムモニタリング；

シリコンウェーハ焼結および太陽光発電コーティング装置の不活性循環パイプラインの微量酸素不純物分析。

3. 特殊高純度ガス産業

高純度水素、エチレン、アセチレン、メタンの工業用ガス源の微量酸素不純物制御；

実験室用超高純度保護ガスおよびクロマトグラフィーキャリアガス純度検出装置のコアセンシングエレメント。

4. 熱処理・化学工業

金属焼鈍、浸炭炉 CO₂ フリー不活性保護ガス超低残留酸素モニタリング；

石油化学合成ガス、CO₂ フリーのプロセス パイプラインは、酸素不純物をオンライン分析します。

5. 楽器付属品

Teledyne INSTATRACE XL、3110XL シリーズ ポータブル/デスクトップ微量酸素分析装置には、工場出荷時のオリジナルセンサーが装備されています。

仕様: