AS200A008C100CJCC MEMS 精密なプロセスガス配分のための熱ガス質量流量制御器

                                       AS200A008C100CJCC 精密プロセスガス分注用MEMS熱式ガス質量流量コントローラー

特徴:

• 高精度MEMSセンシング技術: 次世代マイクロ電気機械流量チップを採用し、優れた線形性と繰り返し性を持ち、機械的なジッター誤差なしに微小な流量変動を正確に捉え、高基準の精密産業測定要件を完全に満たします。
• T/P補償不要の直接質量流量検出: 周囲温度や圧力変動の影響を受けずにガス質量流量を直接検出し、外部補償デバイスや複雑なアルゴリズムを必要とせず、安定したリアルタイムデータ出力を保証します。
• クローズドループ適応型インテリジェント流量制御: 内蔵の高速クローズドループバルブ制御システムが流量パラメータをリアルタイムで動的に調整し、配管圧力変動を迅速にオフセットし、最小限の定常状態誤差で安定した流量出力を維持します。
• 精密ガス回路のための超低圧力損失: 最適化されたストレートスルーフローチャネル設計により、配管抵抗と圧力降下を大幅に削減し、配管圧力バランスを維持し、低圧およびマイクロプレッシャー精密ガス供給シナリオに適応します。
• デュアル信号互換性と幅広い適応性: 4～20 mA / 1～5 Vのアナログ信号とUARTデジタル信号を同時にサポートし、産業用コントローラー、PLC、シングルチップマイクロコンピュータ、上位コンピュータ、IoTプラットフォームと互換性があり、シンプルで高速なシステム統合を実現します。
• 産業用高気密性と超低漏れ: 精密シーリング技術と耐腐食性ガス回路材料を採用し、漏れのリスクを最小限に抑え、マイクロリークによるガス分注偏差やプロセス異常を回避し、信頼性の高い生産および実験データを保証します。
• 幅広い動作条件と強力な耐干渉性能: 内蔵のハードウェアおよびソフトウェアデュアルフィルタリングと耐干渉設計により、産業用電磁干渉や温度/湿度変動に耐え、長期間の連続動作中に低いベースラインドリフトと頻繁な校正を不要にします。
• コンパクトな統合構造と低運用コスト: 小型でコンパクトな構造は、配管設置と組み込み機器統合をサポートし、自動化された生産ラインや実験プラットフォームへの迅速な展開に適しており、長期的なメンテナンス要件が低いです。

応用:

• 精密プロセスガス分注: 化学混合ガス、不活性保護ガス、プロセスパージガスの正確な分注に適用され、安定したガス混合比を維持し、製品合格率を向上させます。
• 科学研究および実験室ガス制御: 大学や研究機関でのスペクトル実験、触媒試験、材料分析、ガス研究に使用され、繰り返し可能で正確な実験データのための安定した追跡可能な定流量条件を提供します。
• 環境モニタリングおよびサンプリング制御: 排ガス分析装置、環境モニタリングマイクロステーション、廃ガスサンプリングシステムに統合され、サンプリング流量を安定させ、流量変動による検出誤差を排除し、環境コンプライアンス基準を満たします。
• 新エネルギー精密製造: リチウム電池、太陽光発電、半導体の精密製造プロセスにおけるキャビティパージ、プロセスガス供給、雰囲気制御に適しており、高一貫性の産業生産をサポートします。
• 自動化機器ガス回路マッチング: 精密溶接、スプレー、試験装置、実験装置のガス供給システムとマッチングし、自動クローズドループガス流量管理を実現し、機器の知能化を向上させます。
• センサー校正および経年劣化試験: ガスセンサーおよび検出器の校正、検証、経年劣化試験のための標準流量ガス源デバイスとして機能し、安定した標準流量環境を提供して工場精度を保証します。