測定範囲:0-1000ppm;最大過負荷2000ppm
感度（20 ℃）:0.025±0.008μA/ppm
応答時間 (T90):≤60秒
GAS検出:硫黄ヘキサフルオリド（SF6）
測定原則:非分散型
範囲:0-1000μl/l（ppm）
検出範囲:10〜1000 ppm
解決:≤ 1 ppm
正確さ:±5％fs
わずかな範囲:0〜20 ppm
最大過負荷:20 PPM
敏感度 (20°C):0.45+0.10μavppm
範囲:0-100 ppm
最大過負荷:200 ppm
解決:<0.1ppm
解決:≤ 0.01 ppm
正確さ:±5％fs
応答時間（t₉₀）:≤ 30 秒
わずかな範囲:0 ~ 20ppm
最大過負荷:50 ppm
敏感度 (20°C):-1.00±0.25μA/ppm
解決:≤ 1 ppm
正確さ:±5％fs
応答時間（t₉₀）:≤ 30 秒
検出範囲:0〜1000;オプション：0〜500 / 0〜2000 ppm
解決:≤ 1 ppm
応答時間（T90）:≤30秒
わずかな範囲:0〜20 ppm
最大過負荷:100ppm
敏感度 (20°C):-0.8±0.2μAppm
検出範囲:0~10ppm
解決:≤0.05ppm
正確さ:±3％fsまたは±0.1 ppm、どちらかが大きい方
解決:≤ 1 ppm
応答時間（T90）:≤ 30 秒
回復時間（T10）:≤ 60 秒
