AWM42300V マイクロブリッジ 乾燥ガス アナログ出力のためのガス質量空気の流れセンサー

製品説明:

AWM42300V マイクロブリッジ 乾燥ガス アナログ出力のためのガス質量空気の流れセンサー

特徴:

AWM40000シリーズのガス質量流量センサー,増幅されていない (mV),流量/圧力範囲: ±1000 SCCM (1.0 SLPM);インターフェイスタイプ: マニフォールド

操作

マイクロブリッジガス質量流量センサーの原理は 熱伝達ですガスの質量流量はセンサー要素の表面を通って導かれる.出力電圧は,パッケージの入口と出口を通過する空気または他のガスの質量に比例する.特別に設計されたハウジングは,微小構造のセンサー要素を通る空気流を最適に指示し制御します.このパッケージは機械的に設計され,印刷回路板に簡単に設置できます.

マイクロブリッジガス質量流量センサーには 先進的なマイクロ構造技術に基づいた高度なシリコンチップが含まれていますチップは薄膜とアディアバティックブリッジ構造を 加熱装置と温度センサーを搭載していますブリッジ構造は,チップを通過する空気や他のガスの空気流に迅速かつ敏感に反応することができます.中央暖房装置の両側にある二重センサーは,流れの方向と速度も示す.レーザー修正された厚膜とフィルム抵抗は,常にセンサーからセンサーへの一貫した交換を保証します.

マイクロブリッジガス質量流量センサーは,シリコンナイトリドフィルムに包まれた熱抵抗を使用します.このレジスタは,シリコンチップのエッチング空洞の上に2つのブリッジを形成し,懸けられています.チップは *** サイズの気流チャネルに配置され,繰り返しの流量応答を提供します.流量センサーブリッジの下の穴をエッチングすることで,ヒーターとセンサーレジスタは効率的な熱隔離を達成することができます.マイクロブリッジガス質量流量センサーの小型サイズと熱隔離機能により,最大速度応答と大気流への高い感度が達成されます.

ウィートストーン・ツイン・ブリッジは,空気流量測定を制御します.一つは閉ループのヒーター制御を提供し,もう一つは二重センサー要素を含んでいます.暖房回路は,質量流量に比例する出力を提供することによって,環境温度変化による出力変動を軽減します.この回路は,暖房の温度を環境温度 (160 °C) 以上の恒常温度差で維持します.°C) で,チップ上の熱抵抗測定によって決定される.装置の出力は電源電圧に比例し,ウィートストーンブリッジ回路の差電圧にも対応する.

仕様: