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商品の詳細:
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| /圧力範囲は流れる: | ±1000 sccm （1 SLPM） | 全温度較差にゼロ: | ±0.20 mV dc |
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| 再現性: | ±0.50%の読書 | 応答時間: | 典型的な価値1氏 |
| ハイライト: | マイクロ橋ガスのマス フローのメートル,AWM42300Vのガスのマス フローのメートル,マイクロ橋熱マス フロー センサー |
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AWM42300V ガス質量流量計センサー ±1000sccm マイクロブリッジ
特徴:
マイクロブリッジガス質量流量センサーは,シリコンナイトリドの薄膜に包まれた熱抵抗を使用する.これらのレジスタは懸垂し,シリコンウエファーのエッチング空洞の上に2つのブリッジを形成する..流量センサーブリッジの下の空洞を刻み,暖房とセンサー抵抗は効率的な熱隔離を実現しますマイクロブリッジのガス質量流量センサーの小さなサイズと熱隔離機能により,迅速な応答と空気流への高い感度が実現されます.
ウィートストーン双ブリッジ制御空流測定 - 一つは閉ループヒーター制御を提供し,もう一方は二重センサー要素を含んでいます.暖房回路は,質量流量に比例する出力を提供することによって,環境温度変動による出力変動を減らすこの回路は,チップの熱抵抗によって測定される環境温度 (160°C) 以上の恒常温度差でヒーターの温度を維持します.装置の出力は供給電圧に比例し,またウィートストーンブリッジ回路の差電圧に対応.
S仕様:
| インターフェースタイプ | マニホールド |
| 電力消費量 | 60mW |
| 中程度の互換性 | 乾燥ガスのみ |
| 補償温度範囲 | -25°C から 85°C [-13°F から 185°F] |
コンタクトパーソン: Xu
電話番号: 86+13352990255
Japanese
