YJJ AS200 ステンレス鋼 MFC 高精度ガス質量流量コントローラー 空気マイクロガス流量計

製品説明:

YJJ AS200 ステンレス鋼 MFC 高精度ガス質量流量制御機 空気マイクロガス流量計

特徴:

AS200シリーズガス質量流量制御器

強力な無料のクライアントベースの上部コンピュータソフトウェアを提供します

AS200シリーズのガス質量流量制御装置は,様々な従来のガスに適しており,ガス質量流量制御測定結果の正確性と信頼性を向上させます.繰り返しの精度は0まで.2% F.S.;

1x10-0 Pa·m3/sec He の低リーク率,良質な気密度,生産の安全性を保証する; デジタル信号,1-5V アナログ信号を含む複数の信号出力をサポートすることができます.4~20mAのアナログ信号, 単一の電源 (+15~+28VDC) を使用でき,異なる作業シナリオに適しています.標準的なオープン通信プロトコルは,顧客が制御および取得ソフトウェアを独立して開発することを便利にします; 同時に,この製品は強力な無料のクライアントベースの上部コンピュータソフトウェアも提供し,ユーザのデバッグと操作を容易にする.

AS200シリーズの製品は,先進的なMEMS技術を使用してAosong Electronicsによって開発されています. センサードライブ,ゼロ漂流制御,バルブ制御などの多くの側面では,高性能を保証するために,コア技術が採用されています.高い品質,高精度,低漏れ率,高圧耐性を持つ高品質の計測器です.

AS200シリーズのガス質量流量制御器 (MFC) は,主にガス質量流量の精密な制御と測定に使用される.AS200は,半導体集積回路技術などの様々な分野における研究と生産において重要な役割を果たしています特殊材料,化学産業,石油産業,医療,環境保護,真空.その典型的な応用シナリオには,エピタクシーなど拡散,プラズマエッチング,スプッターリング,イオン植入および様々なCVD機器; 光ファイバー溶融,マイクロ反応装置などの他の産業機器ガス混合とガス配送システムガス採取装置,毛細血管測定装置,ガス染色体計,その他の分析装置.

ガスの質量流量制御装置

電源: 15 - 24V DC (単極)

測定範囲: 1 - 100, 2 - 20 3~300SCCM/min

00.03 - 3,0.05 - 5,0.1 - 10,0.2 - 20,

0.3 - 30,0.5 - 50 SLM/分

繰り返しの精度:全スケールの ±0.2%

応答時間: 1秒

作業環境: 5 - 45°C

サイズ: 112.8 * 38 * 115 mm

仕様: