YJJ MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-D-A MEMS 熱ガス質量流量計 0.5-50 SLPM 1.5MPa

製品説明：

YJJ MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-DA MEMS 熱ガス質量流量計 0.5 - 50 SLPM 1.5MPa

特徴：

I. モデルの分解（各位置の詳細な意味）

MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-DA

MF5006: シリーズ、DN6 (内径 6mm、1/4 インチインターフェース)

N2: 標準ガス = 窒素 (N₂)

M: MEMS の熱質量流原理

E: アルミニウム合金シェル

0.5: 最小範囲 0.5 SLPM (20°C / 1 atm での標準リットル/分)

50: 最大射程 50 SLPM

15：最高使用圧力1.5MPa

AB: 出力 = 4-20mA + RS485 (Modbus-RTU)

D：LCD表示付（瞬時流量＋積算流量）

A: 標準構成 (特別なカスタマイズなし)

II.コアパラメータ (MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-DA)

1. 測定性能

測定媒体：N₂、空気、O₂、Ar、CO₂ など ドライ、クリーン、オイルフリー、結露ガスなし

ボア/インターフェース: DN6、1/4" 内ネジ (G1/4 または NPT1/4)

範囲 (N₂、20°C / 1 atm): 0.5 ～ 50 SLPM (標準リットル/分)

精度: ±(1.5% 読み取り値 + 0.2% FS)

再現性: ≤±0.5%FS

レンジ比: 100:1 (広範囲、低流量感度)

応答時間: ≤100ms (流量変化の高速追従)

始動流量：低～8mm/s（極微量流量測定可能）

2. 電気的および出力

電源: 12 ～ 24 VDC ±10%、消費電力 < 2W

アナログ出力：4～20mA（0～50SLPMに対応）

通信: RS485 (Modbus-RTU)、ネットワーク接続可能なリモート監視

ディスプレイ: LCD スクリーン、瞬時流量 (SLPM) + 累積流量を表示

3. 機械と環境

シェル材質: アルミニウム合金 (E タイプ)、軽量、耐食性

コンタクト材質: 316L ステンレス鋼

使用圧力: ≤1.5 MPa (15bar)

動作温度: -20°C ～ +60°C

湿度: 0 ～ 95% RH (結露なきこと)

保護等級：IP40（防塵、屋内/一般産業環境）

設置：水平/垂直設置自由、直管セグメント不要（MEMSサーマルの利点）

4. 原理特性

MEMS 熱: 質量流量の直接測定、温度/圧力補償なし、精度温度/圧力変動が影響

超低差圧：圧力損失が少なく、低圧・小流量システムに最適

高安定性：ゼロ点ドリフトが小さく、長期メンテナンスフリー

Ⅲ．主な用途（小口径・低流量ガスの精密測定）

1. 半導体・エレクトロニクス（コアシナリオ）

高純度窒素 (N₂)、酸素 (O₂)、アルゴン (Ar)、プロセスガス比および流量モニタリング

ウェーハ処理、拡散、エッチング、成膜装置における小流量ガスの精密制御

2. 医療・製薬

病院の酸素/窒素供給流量モニタリング (人工呼吸器、麻酔器)

医薬品滅菌ガス、保護ガス(N₂/Ar)の精密測定

3. 実験室・研究

実験ガス（N₂/O₂/Ar/CO₂）の小流量比、混合、反応ガスモニタリング

触媒作用、燃焼、環境サンプリングなどのための低流量ガス測定

4. 産業オートメーション

溶接保護ガス(Ar/CO₂)の小流量安定制御

精密加工・検査装置の噴出・保護ガスの流量監視

圧縮空気の小規模分岐/装置端のエネルギー消費測定

5. 環境・新エネルギー

低濃度排ガス、排ガス小流量サンプリングモニタリング

水素燃料電池用の低濃度水素ガス測定

仕様: