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商品の詳細:
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| フル・スケール: | 100 SCCM | 電源: | +15 ~ +28 VDC (単電源) |
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| 信号: | 0 ~ 5V アナログ。 RS485デジタル通信をサポート | 正確さ: | ±1%FS;再現性: ±0.2% FS |
| ハイライト: | 半導体製造用ガス質量流量制御装置,医療用エアフローセンサー保証付き,AS200A008C100CJCC 流量制御装置 |
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AS200A008C100CJCC 半導体製造プロセスにおけるガス質量流量制御器の使用
典型的な用途
半導体処理,CVD,ガス配送システム,実験室ガス制御,分析機器など
仕様:
| 漏れ率 | 1×10−10 パ・ミ3/秒 (He) |
| 圧力抵抗 | 3 MPa |
| AS200 製品シリーズ | MEMSガス質量流量制御装置 |
| A (シールタイプ) | A = ゴムシール 信号: 0~5V アナログ入力/出力 |
| 008 (ガスコード) | 008 は指定されたガスに対応します |
| C (範囲単位) | C = SCCM (標準立方センチメートル/分) |
| 100 (全スケール) | 100 SCCM |
| CJCC | インターフェース,バルブタイプ,電気,フィッティングの組み合わせのサフィックス |
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コンタクトパーソン: Xu
電話番号: 86+13352990255