タイプ:マス フロー
流量範囲:±200 SCCM
刺激電圧3:8.0 Vdc ミニ/10 Vdc ±0.01 Vdc タイプ/15 Vdc マックス
流量範囲 (全スケール) 1:0 SLPM から 6 SLPM
口径測定のガス:窒素
推奨する興奮電圧:10.000 ±0.010 Vdc
流量範囲 (全スケール) 1:+1000 SCCM
口径測定のガス:窒素
推奨する興奮電圧:10.000 ±0.010 Vdc
流量範囲 (全スケール) 1:±1000 SCCM
推奨する興奮電圧:10 ±0.01 Vdc
電源:最小最大:8.0 Vdc 15.0 Vdc
流量範囲 (全スケール) 1:±30 SCCM
推奨する興奮電圧:10 ±0.01 Vdc
電力消費量:30mWタイプです
流量範囲 (全スケール):0〜10 SLPM
補足語 - カリブレーションガス:VA-アルゴン (Ar) VC-二酸化炭素 (CO2) VN-窒素 (N2)
電源は推奨されています.:10.0±001
推奨される刺激:10 ± 0.01 Vdc
電力消費量:50 MW
ゼロ電圧:1.00 ±.10 Vdc
シリーズ:FS4308シリーズ
精度:± (1.5+0.15FS) %
作業温度:60 ℃
精度の高い:+ 1.5 + 0.2 (FS) %
繰り返し可能性:0.75
ゼロ出力漂移:プラスまたはマイナス30mV
パイプ直径:3mm
タイプ:流量計
材料:PVC
作業圧:0.8Mpa
動作温度:通常温度 °C
MEMSセンサー:FS4008-50-08-CV-A 流量センサー
タイプ:空気流量/新圧
用いる:乾燥ガス
範囲:0L/minから15L/min