流量範囲:0 ~ 2000... 6000
正確さ:±(2.0+0.5FS) %
減額率:>100:1
服用用:乾燥ガス
範囲:+/- 200cm/min
正確さ:0.35 %
Monitoring scope:500sccm
Accuracy:0.5%
Output voltage:4.5V
ゼロポイント出力デリフト:+30 mV
出力変動:+0.12 %/oC
動作電源:8-18vdc,100mA
パス (N):2. 3. 4. 5
流量:1020 30 40 50 SLPM
範囲比:100:1
正確さ:±(1.5 + 0.2 * FS) %
繰返し:0.75 %
ゼロポイント出力デリフト:±30 mV
正確さ:±(1.5 + 0.2 * FS) %
繰返し:0.75 %
ゼロポイント出力デリフト:±30 mV
ポートサイズ:5.08 mm
シェル材料:シリコン
最大動作温度:+ 85 °C
測定精度:1.5
流量範囲:0-800L
仕事 の 圧力:1Mpa
モデル番号:MF5619
原則:多くの流量計
定数直径:19mm
繰り返し可能性:±0.25% FS
応答時間:10 ms (デフォルトで,ソフトウェアで最大1000 msまで調整可能)
圧力を指定する:2 MPa (290 psi) 最大動作圧
正確さ:± 読み取りの1.5% + 全スケールの0.2%)
繰り返し可能性:±0.25% FS
応答時間:10 ms (デフォルトで,ソフトウェアで最大1000 msまで調整可能)
Japanese
