Measurement Range:0–500 SLPM
Accuracy:±1.5% of Full Scale (F.S.)
Repeatability:±0.75%
Measurement Range:0 - 800 SLPM
Accuracy Grade:1.5% F.S
Nominal Diameter:19mm
パワー:11.4~25.2V
範囲:0.5~10, 1.8~32, 5~85, 9~150L/分
精度 全範囲:x±1% ((<50%範囲)
流量範囲:0 ~ 2000... 6000
正確さ:±(2.0+0.5FS) %
減額率:>100:1
服用用:乾燥ガス
範囲:+/- 200cm/min
正確さ:0.35 %
Monitoring scope:500sccm
Accuracy:0.5%
Output voltage:4.5V
ゼロポイント出力デリフト:+30 mV
出力変動:+0.12 %/oC
動作電源:8-18vdc,100mA
パス (N):2. 3. 4. 5
流量:1020 30 40 50 SLPM
範囲比:100:1
正確さ:±(1.5 + 0.2 * FS) %
繰返し:0.75 %
ゼロポイント出力デリフト:±30 mV
正確さ:±(1.5 + 0.2 * FS) %
繰返し:0.75 %
ゼロポイント出力デリフト:±30 mV
測定精度:1.5
流量範囲:0-800L
仕事 の 圧力:1Mpa
モデル番号:MF5619
原則:多くの流量計
定数直径:19mm