フロー範囲:0-2000SCCM
ターンダウン比:100:1
正確さ:±（2.0 + 0.5FS）％
正確さ:±0.30％読み取り
再現性と遅延:±0.35% 読み取り
応答時間:1ミリ秒
出力信号:デジタル出力
電源電圧:3.3Vまたは5V DC
正確さ:フルスケールの±2％（FS）
フロー範囲:0-5000 l/min
作業圧力:最大16バー
インターフェイスタイプ:M12ソケットまたはガスパスボードモジュール
フロー範囲:0〜180 l/min（短期260 l/min）
死んだ空間:<11 ml（機能）
抵抗:<0.027 cmh2o/（l/min）完全な流れ範囲（-180 L/minから180 L/min）
フロー範囲:0〜180 l/min（短期260 l/min）
死んだ空間:<11 ml（機能）
抵抗:<0.027 cmh2o/（l/min）
流れ:0〜30 l/min
死んだ空間:1.3 ml（機能）
抵抗:<0.17 cmh2o/（l/min）超
重さ:およそ0.2ポンド
外部寸法:約3.5×4.5×6インチ
パッケージ仕様:パック1個
作業電圧:5.0V
動作電流:25ma
フロー範囲:20-300SLM
フロー範囲:+200 SLPM
励起電圧:10 Vdc ±0.01 Vdc
電源:8.0 Vdc ミニ/10.0 Vdc タイプ/15.0 Vdc マックス
電源:18 - 28V DC
測定範囲:0.5 - 4, 50 - 250L/分
正確さ:< ±3.0% F.S (流量) ±5% F.S.max. ((@ 25°C)
フロー範囲:0〜1000sccm
精度:±(2.0+0.5FS) %
応答時間:8msec
