範囲:0-50 l/min
正確さ:±（1.5 + 0.2×fs）％2
出力モード:RS232 /アナログ電圧
精度:0.2+3%
モデル:ニューポート E360
製品の特徴:低差圧
流量範囲:0〜180 l/min（短期260 l/min）
死んだ空間:<11 ml（機能）
抵抗:<0.027 cmh2o/（l/min）完全な流れ範囲（-180 L/minから180 L/min）
接続口径:5.08 mm
シェル材質:シリコン
最高動作温度:+ 85°C
流れ:0〜30 l/min
死んだ空間:1.3 ml（機能）
抵抗:<0.17 cmh2o/（l/min）超
流量範囲:0〜180 l/min（短期260 l/min）
死んだ空間:<11 ml（機能）
抵抗:<0.027 cmh2o/（l/min）
モデル番号:FS4003-5-R-BV-A
使用法:モジュール
状態:オリジナル100％
タイプ:質量空気フローセンサー
用途:乾燥ガス
範囲:0 SLPM ～ 10 SLPM
測定範囲:30～300L/min
再現性:≤±0.5％fs
応答時間（T90）:≤3秒
測定範囲:0 - 200 L/分
再現性:0.5％fs
動作温度:-10～+60℃
正確さ:±2.5% 読み取り値 + 0.5% フルスケール (FS)
再現性:±0.2％fs
応答時間（T90）:< 1 S
測定範囲:0～200L/分
重さ:約303g
メカニカルインターフェース仕様:NPT 1/2
Japanese
