最小流量:< 0.5SLPM
正確さ:±(1.5% 読み取り値 + 0.2% FS)
再現性:≤ 0.25% FS
タイプ:質量空気フローセンサー
用途::空気
範囲:50 SLPM
範囲:5～40L/分
正確さ:±3％fs
再現性:< 2% FS
4040:測定範囲 5～40L/min
A31:NPN開放パルス出力
糸:G3/8おねじ
タイプ:質量空気フローセンサー
用途::空気
範囲:50 SLPM
電源:DC5V±0.5V
動作電流:≈ 15mA
出力:NPN開放パルス
測定原則:MEMSサーマル
範囲:0～20L/分
測定精度:±(2% 読み取り値 + 0.5% FS)
タイプ:質量空気フローセンサー
用途::空気
範囲:20 SLPM
測定原則:熱線風速タイプ
範囲:±0～18L/s（±1080L/min）
正確さ:≤ ±2% FS
範囲:0 ～ 50 SLPM
正確さ:±0.5％fs
再現性:±0.1％FS
範囲:0 ～ 50 SLPM
正確さ:±0.5％fs
解決:最小 0.002 SLPM
範囲:0-20 SLPM
正確さ:±0.5％fs
再現性:±0.1％FS
Japanese
