測定原則:MEMS熱質量流量
範囲:0 ～ 50 SLPM (標準リットル/分)
ターンダウン率:100:1
流量範囲:0.5～50SLPM
測定精度:±(1.5 + 0.5% FS)
反復性の間違い:≤ ±0.75% FS
流量範囲:3～300 SLPM
測定精度:±(1.5 + 0.2% FS)
再現性:≤±0.5％fs
流量範囲:0.5～50SLPM
測定精度:±(1.5 + 0.2% FS)
再現性:≤±0.5％fs
標準流量範囲:9～150L/分
反復性の間違い:≤±1% FS
電圧:1.0 MPa
全体のサイズ:本体 40×40mm
パイプインターフェース:G3/8めねじ
電源電圧:DC18～28V
流量範囲:2～16L/min
測定精度:< ±3.0% FS
反復性の間違い:≤2.0% FS
検出原理:ndir
測定範囲:0 ～ 20% 容量
測定精度:±70 ppm ±5% 読み取り値
風速範囲:0～15m/秒
測定の再現性:±3％fs
応答時間:応答時間
フル・スケール:0～10sccm
測定精度:±2% FS
反復性の間違い:≤1.0%FS
フル・スケール:0～10sccm
測定精度:±2% FS
反復性の間違い:≤1.0%FS
電源:DC24V
全面的なパワー消費量:≤3W
デジタル通信:DB9 メスコネクタ RS485
Japanese
