流量範囲 (全スケール):0〜10 SLPM
補足語 - カリブレーションガス:VA-アルゴン (Ar) VC-二酸化炭素 (CO2) VN-窒素 (N2)
電源は推奨されています.:10.0±001
信号処理:増幅した
/圧力範囲は流れる:0 SLPM から 5.0 SLPM
出力電圧 @ トリムポイント:5.0 Vdc @ 5SLPM
推奨される刺激:10 ± 0.01 Vdc
電力消費量:50 MW
ゼロ電圧:1.00 ±.10 Vdc
シリーズ:FS4308シリーズ
精度:± (1.5+0.15FS) %
作業温度:60 ℃
精度の高い:+ 1.5 + 0.2 (FS) %
繰り返し可能性:0.75
ゼロ出力漂移:プラスまたはマイナス30mV
パイプ直径:3mm
タイプ:流量計
材料:PVC
作業圧:0.8Mpa
動作温度:通常温度 °C
MEMSセンサー:FS4008-50-08-CV-A 流量センサー
タイプ:空気流量/新圧
用いる:乾燥ガス
範囲:0L/minから15L/min
タイプ:空気流量センサー
用いる:乾燥ガス
範囲:+/ -1 L/分
用いる:乾燥ガス
範囲:200cm/min
精度:0.5%
動作電源電圧:8Vから15V
ポートサイズ:5.08 mm
シェル材料:シリコン
正確さのレベル:±(2.0+0.5FS) %
定数直径:1/3/8mm
適用される介質:空気/窒素などの乾燥および清潔なガス
