4040:測定範囲 5~40L/min
A31:NPN開放パルス出力
糸:G3/8おねじ
タイプ:質量空気フローセンサー
用途::空気
範囲:50 SLPM
電源:DC5V±0.5V
動作電流:≈ 15mA
出力:NPN開放パルス
測定原則:MEMSサーマル
範囲:0~20L/分
測定精度:±(2% 読み取り値 + 0.5% FS)
タイプ:質量空気フローセンサー
用途::空気
範囲:20 SLPM
測定原則:熱線風速タイプ
範囲:±0~18L/s(±1080L/min)
正確さ:≤ ±2% FS
範囲:0 ~ 50 SLPM
正確さ:±0.5%fs
再現性:±0.1%FS
範囲:0 ~ 50 SLPM
正確さ:±0.5%fs
解決:最小 0.002 SLPM
範囲:0-20 SLPM
正確さ:±0.5%fs
再現性:±0.1%FS
測定された媒体:N₂、空気、O₂、Ar、CO₂など
範囲:0.5 ~ 50 SLPM
正確さ:±(1.5% 読み取り値 + 0.2% FS)
直径:DN25
範囲:2~100m3/h
正確さ:±(2.0% 読み取り値 + 0.5% FS)
温度測定範囲:-70℃~+150℃
温度測定精度:±0.1℃
解決:16ビットADC ≈ 0.004 ℃