測定範囲:0~50SLPM
再現性:≤ 0.25%
応答時間:10ミリ秒(デフォルト)
範囲:20.5% ～ 95.6% VOL
濃度解像度:0.1％vol
濃度精度:±1.2%FS
範囲:20.5% ～ 95.6% VOL
濃度解像度:0.1％vol
濃度精度:±1.5% FS
O2濃度範囲::20.5% ～ 95.6% VOL
濃度解像度:0.1％vol
濃度精度:±1.5％FS（5～45℃）
フル・スケール:100 SCCM
電源:+15 ～ +28 VDC (単電源)
信号:0 ～ 5V アナログ。 RS485デジタル通信をサポート
測定原則:MEMSサーマル
正確さ:±(1.5 + 0.2% FS)
電源:DC12～24V
推奨使用流量:50～1000mL/分
外形寸法:Φ25.6×16mm
重さ:4.8 g
原理:MEMS熱質量流量センシング
測定された媒体:空気、N₂、O₂、Ar、CO₂など
流量範囲:0～50SLPM
範囲:0～100SCCM
正確さ:±1.0%SP(≧35%FS)
再現性:±0.2%FS
MF5012:DN12mm
N4F:N = NPT ねじ
最大動作圧力:1.5 MPa
流量範囲:2～16L/分
正確さ:±3%FS;再現性: <2% FS
電源:DC18～28V
フル・スケール:500ml/分
正確さ:±3% F.S.
再現性:0.5% F.S.
Japanese
